発明の名称
レーザ照射装置及び表面処理方法
登録番号
特许第6602007号
登録日
2019年10月18日
共有者
株式会社トヨコー
技术概要
【课题】液体中の照射対象物に対してレーザを照射して表面処理をおこなう际の処理能力を向上したレーザ照射装置等を提供する。【解决手段】レーザ光を収束させて液体中の照射対象物に照射する照射用光学系を备えるレーザ照射装置を、照射用光学系は、照射対象物に隣接して配置された最対物侧光学素子323における照射対象物侧の面部が液体中に配置された状态でレーザ光の照射をおこなうとともに、最対物侧光学素子の照射対象物侧とは反対の面部及び他の光学素子は、液体の浸入が実质的に防止されたハウジング内に収容され、最対物侧光学素子の外周縁部近傍に设けられ照射対象物侧の面部にほぼ沿って液体流を吐出する液体吐出手段440と、最対物侧光学素子の外周縁部近傍において液体吐出手段に対して対物侧光学素子の中央部を挟んだ反対侧に设けられ対物侧光学素子の照射対象物侧の面部にほぼ沿って流れる液体流を吸入する液体吸入手段450とを备える构成とする。
図
提供方法
弊社サービス、特许の利用